特許
J-GLOBAL ID：200903079732280228
パターン投影計測用格子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-275122
公開番号（公開出願番号）：特開2000-105109
出願日： 1998年09月29日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
要約：
【要約】【目的】 白黒2値パターンで構成された疑似正弦波濃度分布を有するパターン投影計測用格子において、白黒2値パターンの疎密を正弦波状に分布させることにより、疑似正弦波濃度分布を正弦波に近い濃度分布とする。【構成】 正弦波の全振幅各1周期分を8つの区分に分割するとともに、これら分割された各区分内を該区分内における正弦波の面積Sとその全振幅に等しい矩形波の面積Soとの比率で白領域Wと黒領域Bとに領域分けすることにより、白黒2値パターンを構成する。
請求項（抜粋）：
白黒2値パターンで構成された疑似正弦波濃度分布を有するパターン投影計測用格子において、前記白黒2値パターンが、正弦波の全振幅各1周期分を所定の区分で分割するとともに、これら各区分内を、該区分内における前記正弦波の面積と該正弦波の全振幅に等しい矩形波の面積との比率に応じて白領域と黒領域とに領域分けすることにより構成されてなることを特徴とするパターン投影計測用格子。
Fターム (17件)：
2F065AA45
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065BB22
, 2F065BB24
, 2F065CC00
, 2F065DD03
, 2F065DD09
, 2F065EE08
, 2F065FF06
, 2F065FF07
, 2F065HH05
, 2F065JJ03
, 2F065LL04
, 2F065LL28
, 2F065PP23
, 2F065UU08
