特許
J-GLOBAL ID：200903079735091094
針切削用イオン加工装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-326079
公開番号（公開出願番号）：特開平6-150870
出願日： 1992年11月11日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】[目的] 棒状部材の先端部を金属原子の数個分の大きさまで研磨する。[構成] 図(平面図)に示すように、矢印d方向に回転可能な支持部材2の支持部2aには針状の棒状部材21が固定されている。冷陰極形のイオンビーム装置1ではイオン源本体5からイオンビームが引き出され、引き出されたイオンビームはビームライン13を搬送され、棒状部材21を斜め後方から照射する。棒状部材21は回転されながら、斜め後方からイオンビームにより削られるので、先端部が原子単位まで鋭く切削される
請求項（抜粋）：
真空槽内で、棒状部材を支持部材で保持し、イオンビームの照射口を前記棒状部材の斜め後方に配設し、該照射口から導出されるイオンビームを前記棒状部材に照射しながら切削することを特徴とする針切削用イオン加工装置。
IPC (4件)：
H01J 37/30
, B23K 15/00 508
, B24B 19/18
, C23F 4/00
