特許
J-GLOBAL ID：200903079739135550
微小金属球の吸着整列装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池浦 敏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-363193
公開番号（公開出願番号）：特開2002-164370
出願日： 2000年11月29日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：
【要約】【課題】 吸着治具の吸着孔が鉛直下向きに向いている姿勢で微小金属球を吸着整列させる装置において、吸着ミスや搭載ミスが発生した場合や、装置の調整ないしメンテナンスを行う場合に、作業が容易で、オペレータを疲労しやすい体勢から解放させることのできる吸着整列装置を提供する。【解決手段】 微小金属球Bを整列した状態で吸着させるための複数の吸着孔12を備えた吸着治具10と、該微小金属球Bを収容する容器15と、該吸着治具10の吸着孔12を真空吸引するための真空吸引手段と、該吸着治具10を該吸着孔12が鉛直下向きの姿勢となるように保持する吸着治具保持機構21、22、23、24と、該吸着治具10を、水平面とは異なる面内で回転可能とする回転機構Oとを有することを特徴とする吸着整列装置。
請求項（抜粋）：
微小金属球を整列した状態で吸着させるための複数の吸着孔を備えた吸着治具と、該微小金属球を収容する容器と、該吸着治具の吸着孔を真空吸引するための真空吸引手段と、該吸着治具を該吸着孔が鉛直下向きの姿勢となるように保持する吸着治具保持機構と、該吸着治具を、水平面とは異なる面内で回転可能とする回転機構とを有することを特徴とする吸着整列装置。
FI (2件)：
H01L 21/92 604 H
, H01L 21/92 602 Z
