特許

J-GLOBAL ID：200903079751200138

中性活性種の検出方法とその装置

発明者： 藤井 敏博
出願人/特許権者： 国立環境研究所長
代理人 (1件)： 西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-305146
公開番号（公開出願番号）：特開平6-011485
出願日： 1991年11月20日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【目的】 プラズマ等の中性活性種を高感度で検出する。【構成】 中性活性種を1価または2価の金属イオン、たとえばLi+ に付加し、この付加イオンを質量分析により検出する。

請求項（抜粋）：

中性活性種を1価または2価金属イオンに付加し、この付加イオンを質量分析により検出することを特徴とする中性活性種の検出方法。