特許
J-GLOBAL ID：200903079756819080
石英系光導波路コアガラスの屈折率制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-009511
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211926
出願日： 1998年01月21日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】 簡易な設備により、かつ、取り扱いの容易な方法により屈折率の増減制御を可能にする。【解決手段】 石英系光導波路に用いるものとしてLP-CVD法により作製したコアガラス膜1を真空チャンバ2内のホルダ6上に配置する。コアガラス膜の特定部分に対し例えばエキシマランプにより構成されたパワー密度の低い紫外線ランプ3から波長146nm(クリプトンのエキシマ光)もしくは波長172nm(キセノンのエキシマ光)の短波長紫外光をMgF2窓5を介して照射することにより、特定の照射部分のみ屈折率を増大させる。未照射部分もしくは照射部分に対し局部的に熱アニールを施すことにより、その部分のみ屈折率を低減させる。
請求項（抜粋）：
石英系光導波路に用いるコアガラスの屈折率を変化させる屈折率制御方法であって、上記コアガラスに対し紫外線ランプを用いて短波長紫外線を照射することにより、照射部分の屈折率を未照射部分のそれに比べ増大させるようにすることを特徴とする石英系光導波路コアガラスの屈折率制御方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 6/12 M
, C03B 27/012
