特許
J-GLOBAL ID:200903079758267157
ボール搭載方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-178396
公開番号(公開出願番号):特開2001-007494
出願日: 1999年06月24日
公開日(公表日): 2001年01月12日
要約:
【要約】【課題】微少ボールのボール搭載プロセスの信頼性を高め、BGAとCSP型のファインピッチ超小型電子部品の表面実装部品を提供する【解決手段】ボールをピックアップヘッドに真空吸着する工程でボールが吸着していない未吸着孔が1個残ている時の真空度を200〜560mmHgに制御する
請求項(抜粋):
ピックアップヘッドのキャビティを真空引きする工程、複数の吸着孔が形成されたピックアップヘッド下面にボールを真空吸着する工程、前記ボールをワークピースに搭載する工程からなるボール搭載方法において、前記ボールの直径が0.02〜0.5mmで且つ前記真空吸着する工程で前記ボールが吸着していない未吸着孔が1個残ている時の真空度が200〜560mmHgであることを特徴とするボール搭載方法。
IPC (2件):
H05K 3/34 505
, H01L 23/12
FI (2件):
H05K 3/34 505 A
, H01L 23/12 L
Fターム (2件):
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特許第2901594号
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半田ボールマウント装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-316271
出願人:澁谷工業株式会社
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特許第2901594号
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