特許

J-GLOBAL ID：200903079759984189

クリ-ンル-ム間仕切り用フィルム又はシ-ト

発明者： 加藤 俊幸
出願人/特許権者： アキレス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-055336
公開番号（公開出願番号）：特開2000-103017
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
要約：

【要約】【課題】 クリーンルーム用間仕切りフィルム又はシートに要求される諸特性を損なうことなく、アウトガスの発生を抑制すること。【解決手段】 塩化ビニル系樹脂製の帯電防止性透明性軟質フィルム又はシートの両面にフッ素系樹脂製フィルムを積層し、これを間仕切り用フィルム又はシートとする。

請求項（抜粋）：

半導体等を製造するクリーンルームの間仕切り用として使用されるフィルム又はシートであって、塩化ビニル系樹脂製の帯電防止性透明軟質フィルム又はシートの両面に、フッ素系樹脂製フィルムを積層してなることを特徴とするクリーンルーム間仕切り用フィルム又はシート。

IPC (5件)：

B32B 27/30 ,  B32B 27/30 101 ,  B32B 27/18 ,  E04H 5/02 ,  C08J 7/04 CEW

FI (5件)：

B32B 27/30 D ,  B32B 27/30 101 ,  B32B 27/18 D ,  E04H 5/02 B ,  C08J 7/04 CEW D

Fターム (19件)：

4F006AA17 ,  4F006AA55 ,  4F006AB24 ,  4F006AB54 ,  4F006AB64 ,  4F006AB72 ,  4F006BA00 ,  4F006BA06 ,  4F006BA11 ,  4F006CA00 ,  4F006DA00 ,  4F006DA04 ,  4F100AA37 ,  4F100GB90 ,  4F100HB00 ,  4F100JG03 ,  4F100JJ07 ,  4F100JL00 ,  4F100JN01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 導電性塩化ビニル系樹脂積層シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-273133   出願人：アキレス株式会社
• 特開昭60-222251
  
• 特開昭60-222251