走査形顕微鏡の自動焦点合わせ方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-053571
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267480
出願日： 1993年03月15日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】荷電粒子線または光を用いて、試料上を走査しながら照射することで走査像を得る走査形顕微鏡に関係し、試料上で最適ビーム径を自動的に得るために、走査像より得られた映像信号の微分、あるいは差分及びその累積加算の最適手法により、高精度で短時間に自動焦点合わせができる走査型顕微鏡を実現すること。【構成】荷電粒子線または光を対物レンズにより収束し、試料上を照射しながら走査し、二次元走査像を得る走査形顕微鏡の構成に、対物レンズの収束条件を段階的に変化する手段と、その変化に対応して得られる走査像を記憶する画像メモリを備え、その映像情報の信号処理によって、対物レンズの焦点位置を制御できる構成からなる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線または光を収束する収束手段と、収束した該荷電粒子線又は光を試料上を走査する手段と、該荷電粒子線または光により該試料から二次的に発生した荷電粒子または光を検知する手段と、該得られた荷電粒子または光の信号を前記走査手段と同期し、映像信号として記憶する二次元の記憶手段、及び、走査像の映像信号として表示する手段を具備した走査形顕微鏡において、収束手段の収束条件を段階的に変化させ、その各段階において得られた走査像から、自動的に走査像の合焦点を検出することを特徴とする走査形顕微鏡の自動焦点合わせ方法。

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