特許

J-GLOBAL ID：200903079772636769

円形マークの中心位置測定方法及び基板露光装置における位置合わせ方法

発明者： 伊東 隆夫 ,  武田 尚也
出願人/特許権者： 豊和工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-086693
公開番号（公開出願番号）：特開2002-288678
出願日： 2001年03月26日
公開日（公表日）： 2002年10月04日
要約：

【要約】【課題】 速やかに真の円中心位置に近い円弧中心位置を推定することのできる円中心位置測定方法を提供する。【解決手段】ステップS5-1で、CCDカメラで認識された二次元入力データから、明部と暗部との境目のデータを微分二値化処理して多数のエッジ点A,B,C,...K、N,N+1、N+2...の座標データを取り込む。ステップS5-2において、隣合う組となったエッジ点の夫々を中心にして、ワークマーク6の半径Rを用いて、円の交点を次々と求める。ステップS5-3でそれらの交点をX座標、Y座標で並べ替え、最も密集している仮中心点群CPを求め、仮中心点群CPの算出基礎となったエッジ点A〜Kのみを残し、ステップS5-4にて、エッジ点A〜Nの座標値を使用して、周知の最小二乗法に基づき、円弧近似を行い、円中心位置Pを推定する。

請求項（抜粋）：

マーク形状を予め所定サイズの円形状に設定し、撮像手段でマークを撮像してエッジ点を多数検出し、各エッジ点の位置データと前記予め設定したマーク形状のサイズデータを用いて仮中心点を多数算出し、それらの仮中心点の算出基礎となったエッジ点の内、前記円形マークの中心近傍に位置すると推定される仮中心点の算出基礎となったエッジ点を複数抽出し、抽出された前記複数のエッジ点の位置データを用いて円弧近似を行って、円形マークの中心位置を推定することを特徴とする円形マークの中心位置測定方法。

IPC (7件)：

G06T 7/60 200 ,  G06T 7/60 150 ,  G06T 7/60 250 ,  G01B 11/00 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 9/00 ,  G06T 1/00 305

FI (7件)：

G06T 7/60 200 C ,  G06T 7/60 150 C ,  G06T 7/60 250 Z ,  G01B 11/00 H ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 9/00 Z ,  G06T 1/00 305 C

Fターム (25件)：

2F065AA12 ,  2F065AA17 ,  2F065BB01 ,  2F065CC20 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU05 ,  2H097KA03 ,  2H097KA12 ,  2H097KA20 ,  2H097KA29 ,  2H097LA09 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DC16 ,  5L096CA02 ,  5L096FA04 ,  5L096FA06 ,  5L096FA69