圧電素子、振動ジャイロ及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-234330
公開番号（公開出願番号）：特開2002-048552
出願日： 2000年08月02日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：

【要約】【課題】構造が簡単で、圧電体間や圧電素子と固定部材との間の接着層による影響を受けないで共振周波数が安定であって、角速度を高感度かつ高精度に検出できる圧電素子及び振動ジャイロを提供する。【解決手段】圧電素子3は、分極方向が互いに反対方向である2つの圧電体10、11を接合して形成され、梁部と支持体部14とを有するバイモルフ型圧電素子であって、前記圧電素子の相対する一方の主面上に形成されており前記圧電素子の幅方向に分割されている2つの第1電極6a,6bと、前記圧電素子の他方の主面上に形成される第2電極5とを有しており、前記支持体部は、前記圧電素子の相対する主面のうち少なくとも一方の主面に設けられている。

請求項（抜粋）：

分極方向が互いに反対方向である2つの圧電体を接合して形成され、梁部と支持体部とを有するバイモルフ型圧電素子であって、前記圧電素子の一方の主面上に形成されており、前記梁部の幅方向に分割されている2つの第1電極と、前記圧電素子の相対する他方の主面上に形成される第2電極とを有しており、前記支持体部は、前記圧電素子の相対する主面のうち少なくとも一方の主面に設けられていることを特徴とする圧電素子。

IPC (5件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/09 , H01L 41/08 , H01L 41/22

FI (6件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 M , H01L 41/08 U , H01L 41/08 Z , H01L 41/22 Z

Fターム (9件)：

2F105AA02 , 2F105AA08 , 2F105AA10 , 2F105BB03 , 2F105CC04 , 2F105CC06 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 2F105CD13

前のページに戻る