特許

J-GLOBAL ID：200903079776351297

静電アクチュエータ

発明者： 屋代 進 ,  樋口 俊郎
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社 ,  樋口 俊郎
代理人 (1件)： 西村 征生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-107863
公開番号（公開出願番号）：特開平7-298646
出願日： 1994年04月22日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】 移動子の固定子上の位置を検出すると共に、移動子の位置変化について時間を計測し、この計測された時間に基づくタイミングで固定子の線状電極に電圧を供給する。【構成】 移動子2は固定子1Aの線状電極11a,11b,11c,...に沿った方向に移動する。このとき、移動子2に搭載されたLED21から固定子1Aの光ファイバfnに光を射出する。これらの光ファイバfnに入射された光は、給電線22を介して駆動電源装置3Aに伝搬される。駆動電源装置3は、光を検出して当該光が伝搬された光ファイバfnを認識することにより、移動子2の固定子1A上の位置を検出すると共に、移動子2の位置変化について時間を計測し、この計測された時間に基づくタイミングで固定子1Aの線状電極11a,11b,11cに電圧を供給する。

請求項（抜粋）：

任意の一の方向に複数の線状電極と複数の光入力可能な線状光導波路とが繰り返し性を有する所定の配列態様で混在してなる固定子と、該固定子に対向して配設され、該固定子との間に働く静電力によって移動する移動子とを有してなる静電アクチュエータであって、前記複数の線状光導波路のうち、前記移動子の現在位置に在る線状光導波路に向けて前記移動子の現在位置を示すための光を射出する光射出手段と、当該線状光導波路に入力され、当該線状光導波路の一端側にまで伝搬してきた前記光を検出する光検出手段と、該光検出手段の検出結果に基づいて、前記移動子の現在位置情報を得る位置検出手段とを備えてなることを特徴とする静電アクチュエータ。