特許

J-GLOBAL ID：200903079781388441

真空ポンプ

発明者： 樺澤 剛志 ,  野中 学 ,  岡田 隆志
出願人/特許権者： セイコー精機株式会社
代理人 (1件)： 川井 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-149097
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337290
出願日： 1999年05月28日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
要約：

【要約】【課題】 排気系に入射される空気分子量を増大し、排気効率を可及的に高めることのできる真空ポンプを提供する。【解決手段】 吸気口16を有するケーシング12内に吸気口16に臨んでロータ60を回転駆動させると共に、このロータ60の周外部に軸方向に沿って周方向に前記吸気口16から空気分子Aを引き込んで排気させる排気系13を形成してなる真空ポンプ1にあって、前記ロータ60の上端部に、案内翼80が一体的に取り付られる。この案内翼80は前記吸込口16からロータ60の上端部に引き込まれる前記空気分子Aを径方向外側に向けて前記排気系13の入り口側に反射させる運動成分を付与する。

請求項（抜粋）：

吸気口を有するケーシングと、前記ケーシング内に収容されたロータ軸と、このロータ軸と前記ケーシング間に、前記ロータ軸と共に回転可能に配設され、前記ロータ軸と共に回転することで前記吸気口からの気体分子を排気する排気手段と、前記ロータ軸と前記吸気口との間に、前記ロータ軸と共に回転可能に配設され、前記ロータ軸と共に回転することで前記吸気口からの気体分子に径方向外方の運動成分を付与する案内翼と、を具備することを特徴とする真空ポンプ。

FI (2件)：

F04D 19/04 D ,  F04D 19/04 E

Fターム (6件)：

3H031DA01 ,  3H031DA02 ,  3H031DA07 ,  3H031EA00 ,  3H031FA01 ,  3H031FA36

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平2-149798