特許
J-GLOBAL ID：200903079782239113
2層TABテープキャリアとその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 望稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-046336
公開番号（公開出願番号）：特開平7-235569
出願日： 1994年02月21日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】ベースフィルムとして感光性ポリイミドを用いる2層TABテープキャリア構造とすることにより、安全に、安価に、しかも、作業効率良く製造することができる2層TABテープキャリアとその製造方法を提供する。【構成】配線パターン26が形成された銅とベースフィルムとの間に接着剤を持たない2層TABテープキャリアである。銅箔の片面にベースフィルムとなる感光性ポリイミド14を塗布してプリベークを行い、この感光性ポリイミドに露光・焼付、現像を行い、ポストベークを行って、デバイスホール20、OLBホール22およびバイアホールのうちの少なくとも1つを開口した後、銅箔にホトエッチングプロセスを用いて配線パターンを形成することにより、上記目的を達成する。
請求項（抜粋）：
配線パターンが形成された銅とベースフィルムとの間に接着剤を持たない2層TABテープキャリアであって、ベースフィルムとして感光性ポリイミドを用い、デバイスホール、OLBホールおよびバイアホールのうちの少なくとも1つを、前記感光性ポリイミドに露光、現像により開口してなることを特徴とする2層TABテープキャリア。
引用特許：
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