インクジェット記録ヘッドの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-200148
公開番号（公開出願番号）：特開平9-048130
出願日： 1995年08月07日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：

【要約】【目的】使用できる素材の選択の幅を拡げ、大型で高価な設備を必要とせず、簡単な工程で製造できる、特性の優れたオンデマンド型インクジェット記録ヘッド及びその製造方法を提供することを目的とする。【構成】キャビティ板1と振動板8とを低融点ガラス層12で接合している。接合温度はガラス軟化点の近傍に選定されているため、低融点ガラス層12がインク流路11にはみ出して流路を変形させたり塞いだりすることはない。また、接合温度が 300°C程度と低いために、素材の組み合わせに対する制限も大幅に緩和されるし、設備も簡単なもので済む。

請求項（抜粋）：

インク噴射用ノズルとインク加圧室とインク供給路とインク溜めとが連通する溝として形成されているキャビティ板と、このキャビティ板の溝側に接合され、キャビティ板とは反対側の表面で前記加圧室に対向する位置に圧電アクチュエータが接合されている振動板とで構成され、キャビティ板と振動板とを低融点ガラスで接合するようにしたインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、キャビティ板に流路を形成する溝加工工程と、振動板の一方の面に低融点ガラス層を形成する工程と、キャビティ板の溝側の面に、振動板の低融点ガラス層側の面を、低融点ガラスの軟化点より50°C低い温度から50°C高い温度の範囲で、加圧力を0.05〜5kg/cm2とし、保持時間を10〜60分として、加熱加圧法で接合する工程と、からなることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 A

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