特許
J-GLOBAL ID：200903079786945926
板状体の研磨方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐野 静夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-359860
公開番号（公開出願番号）：特開平5-177538
出願日： 1991年12月26日
公開日（公表日）： 1993年07月20日
要約：
【要約】【目的】被研磨板の背面を研磨装置の保持具に装着し、厚みに対して面積が十分に大きい前記被研磨板の一方の面を研磨する方法において、研磨によって生じる板厚ムラの少ない、安定した板状体の研磨方法を提供する。【構成】被研磨板10は、保護膜16、固定用両面テープ17、剥離シート18を介して固定基板30に固定される。この固定基板30及び保持具31には、それぞれ中央部に小孔30a及び31aが設けられている。保持具31の重量と、加工時の研磨シート13の面圧により、被研磨板10と固定基板15間に生じた空気溜まりの空気は小孔30a及び31aから排出され、被研磨板10は全面が固定基板30に密着した状態で固定されることになり、安定した研磨が行なわれる。
請求項（抜粋）：
被研磨板状体の背面を研磨装置の保持具に装着し、厚みに対して面積が十分に大きい前記被研磨板状体の一方の面を研磨する方法において、前記被研磨板状体を保持固定する固定基板、及び、前記固定基板を装着する前記保持具の中央部に、空気逃げ用の小孔を設けたことを特徴とする板状体の研磨方法。
IPC (2件)：
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