多段型電子冷却ユニットおよび温度制御ステージ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：机昌彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-057273
公開番号（公開出願番号）：特開2003-258324
出願日： 2002年03月04日
公開日（公表日）： 2003年09月12日
要約：

【要約】【課題】複数のペルチェモジュールを積み重ねて単一の電源の出力を供給した場合、ペルチェモジュールがたとえ同一品種のものであっても、試料に近いペルチェモジュールの駆動電流を放熱側のペルチェモジュールの駆動電流よりも少なくする。【解決手段】熱電変換素子をマトリクス状に配列し、絶縁物で挟みこんで構成したペルチェモジュール1a,1b,1c,1dを複数積み重ねた構造の多段型電子冷却ユニットあるいはこれを用いた温度制御ステージにおいて、試料側のペルチェモジュール1a,1bを電気的に並列接続し、これに放熱側のペルチェモジュール1c,1dを電気的に直列接続する。

請求項（抜粋）：

熱電変換素子をマトリクス状に配列し、絶縁物で挟みこんで構成した複数のペルチェモジュールを複数段に積み重ねた構造の多段型電子冷却ユニットにおいて、前記ペルチェモジュール間の結線関係によって冷却される試料に近い位置のペルチェモジュールほど駆動電流が少なくなるようにしたことを特徴とする多段型電子冷却ユニット。

IPC (4件)：

H01L 35/32 , F25B 21/02 , H01L 23/38 , H01L 35/28

FI (4件)：

H01L 35/32 Z , F25B 21/02 A , H01L 23/38 , H01L 35/28 C

Fターム (4件)：

5F036AA01 , 5F036BA33 , 5F036BB05 , 5F036BF01

引用特許：

審査官引用 (2件)

熱電変換装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-234390 出願人：難波菊次郎
光センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-127611 出願人：浜松ホトニクス株式会社

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