特許

J-GLOBAL ID：200903079790695667

較正用基準ウエハ、較正方法、位置検出方法、位置検出装置、及び露光装置

発明者： 沖田 晋一 ,  高橋 顕
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-078780
公開番号（公開出願番号）：特開2002-280288
出願日： 2001年03月19日
公開日（公表日）： 2002年09月27日
要約：

【要約】【課題】 位置検出装置の較正を精度良く行う。【解決手段】 複数の形状特徴点を有する第1マーク(FTMa,FTMb,FTMc)と、形状特徴点それぞれの前記第1マーク内における位置を特定するための第2マーク(STMa,STMb,STMc)とを含む第1基準マーク(FSMa,FSMb,FSMc)が形成された較正用基準ウエハSWを、位置検出装置を較正する撮像装置によって撮像する。そして、撮像結果において、第2マーク(STMa,STMb,STMc)によって第1マーク(FTMa,FTMb,FTMc)内における位置が特定された複数の形状特徴点の位置を検出することにより、撮像装置の撮像倍率、撮像視野の回転量、及び撮像視野の中心位置等について、精度良く較正を行う。

請求項（抜粋）：

ウエハの外縁付近における3以上の撮像対象領域の撮像結果に基づいて、前記ウエハの位置情報を検出する位置検出装置の較正に使用される較正用基準ウエハであって、前記撮像対象領域それぞれに、第1基準マークが形成された基板から成り、前記第1基準マークそれぞれは、互いに交差する2方向それぞれに沿って、所定距離だけ離れて配列された形状特徴点を有する第1マークと、前記形状特徴点それぞれの前記第1マーク内における位置を特定するための第2マークとを含むことを特徴とする較正用基準ウエハ。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 7/22 ,  G03F 9/00

FI (4件)：

G01B 11/00 H ,  G03F 7/22 H ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 502 M

Fターム (18件)：

2F065AA12 ,  2F065BB03 ,  2F065BB27 ,  2F065CC19 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ31 ,  5F046AA20 ,  5F046DB05 ,  5F046DB10 ,  5F046EB01 ,  5F046EC05 ,  5F046FA10 ,  5F046FC06 ,  5F046FC08