特許

J-GLOBAL ID：200903079796457890

窒素富化ガス分離方法および装置

発明者： 鍛冶 眞一 ,  春名 一生
出願人/特許権者： 住友精化株式会社
代理人 (1件)： 吉田 稔 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-265259
公開番号（公開出願番号）：特開平7-088316
出願日： 1993年10月22日
公開日（公表日）： 1995年04月04日
要約：

【要約】【目的】 常圧再生を採用する簡便な多槽型圧力スウィング吸着方式によるガス分離装置を用いて、窒素純度99.999%の窒素富化ガスの生成を可能とすること。【構成】 複数の吸着槽1, 2と、均圧槽3と、製品貯槽4とを備える圧力スウィング吸着方式による窒素富化ガス分離装置をもちい、(a) 再生工程にある吸着槽の出口側に均圧槽からの高純度窒素ガスを所定流量で流すステップ、(b) 両吸着槽の出口側どうしを均圧管路によって連通させると同時に、両吸着槽の入口側を常圧開放するステップ、(c) 上記ステップ(b) の後、再生工程から吸着工程に移行するべき吸着槽の出口側から上記均圧槽の高純度窒素ガスを一定量逆流させるとともに、入口側から原料ガスを供給するステップ、を含むことを特徴とする。【効果】 上記ステップ(b) により、再生工程後の吸着槽の入口側に残る脱着酸素を確実に系外に追い出すことに大きく寄与して、きわめて高い窒素純度を達成することができる。

請求項（抜粋）：

分子篩炭を充填した複数の吸着槽と、各吸着槽の出口側から開閉弁を有する製品管路を介して連結された所定容量の均圧槽と、この均圧槽に逆止弁を有する管路を介して連結された所定容量の製品貯槽と、開閉弁を有して上記各吸着槽の出口側どうしを連結する均圧管路と、上記均圧槽と上記各吸着槽の出口側との間をそれぞれ連結し、逆止弁およびオリフィスを有するリンス管路と、上記各吸着槽の入口側にそれぞれ連結され、開閉弁を有する原料ガス供給管路と、開閉弁を介して上記各吸着槽の入口側にそれぞれ連結され、常圧に開放する排気管路と、を備えることを特徴とする、圧力スウィング吸着方式による窒素富化ガス分離装置。

IPC (2件)：

B01D 53/04 ,  C01B 21/04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-077617
  
• 特開平2-245216
  
• 特公平2-056126