特許

J-GLOBAL ID：200903079801536728

基板カセットラックの洗浄方法

発明者： 池田 義照 ,  石井 幹夫
出願人/特許権者： 株式会社コウキテクノ ,  株式会社弘輝
代理人 (1件)： 佐野 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-208806
公開番号（公開出願番号）：特開平10-034094
出願日： 1996年07月19日
公開日（公表日）： 1998年02月10日
要約：

【要約】【課題】 基板などのカセットラックを、洗浄筐体内において自動的に効率良く洗浄する方法を提供することにある。【解決手段】 少なくとも正面壁の一部を開口した洗浄筐体内の所定位置に基板のカセットラックを収容セットしたのち、カセットラックの外側下部全域を固定されたノズルから噴出する洗浄液にて洗浄する行程、カセットラックの下面を除いた全域を、カセットの左右側上方に配設した上下方向に揺動するノズルから噴出する洗浄液にて洗浄する行程、前記洗浄液筐体の前面開口より挿入された回動しながら前後移動するノズルから噴出する洗浄液にて、カセットラックの内面全域を洗浄する行程、前記各洗浄行程の選択的組み合わせによりカセットラックの内外面全域を洗浄したのち、カセットラックの内外面全域にエアーを吹き付け、残留洗浄液の水切りを行なうことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

少なくとも正面壁の一部を開口した洗浄筐体内の所定位置に基板のカセットラックを収容セットしたのち、カセットラックの外側下部全域を固定されたノズルから噴出する洗浄液にて洗浄する行程、カセットラックの下面を除いた全域を、カセットの左右側上方に配設した上下方向に揺動するノズルから噴出する洗浄液にて洗浄する行程、前記洗浄液筐体の前面開口より挿入された回動しながら前後移動するノズルから噴出する洗浄液にて、カセットラックの内面全域を洗浄する行程、前記各洗浄行程の選択的組み合わせによりカセットラックの内外面全域を洗浄したのち、カセットラックの内外面全域にエアーを吹き付け、残留洗浄液の水切りを行なうことを特徴とする基板カセットラックの洗浄方法。

IPC (3件)：

B08B 3/02 ,  B08B 9/28 ,  H01L 21/304 341

FI (3件)：

B08B 3/02 D ,  B08B 9/28 ,  H01L 21/304 341 N