特許

J-GLOBAL ID：200903079808409462

表示用基板の検査装置

発明者： 長谷川 吉伸 ,  三浦 一佳 ,  斉藤 清久 ,  工藤 隆善
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-247781
公開番号（公開出願番号）：特開2002-062327
出願日： 2000年08月17日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
要約：

【要約】【目的】 保守点検作業や部品交換作業を容易に行うことができるようにすることにある。【解決手段】 表示用基板の検査装置は、フレームと、検査すべき表示用基板を受けるチャックと、該チャックに受けられた基板の電極に電気的に接続される複数の接触子を備えた接触子組立体あってチャックの上方にあってフレームに配置された接触子組立体と、作業者が乗ることができる作業ステージとを含む。作業ステージは、接触子の高さ位置以上の位置に配置されている。作業者は、保守点検作業や部品交換作業を作業ステージに乗った状態で行うことができる。

請求項（抜粋）：

フレームと、検査すべき表示用基板を受けるチャックと、該チャックに受けられた表示用基板の電極に電気的に接続される複数の接触子を備えた接触子組立体あって前記チャックの上方にあって前記フレームに配置された接触子組立体と、作業者が乗ることができる作業ステージであって前記接触子の高さ位置以上の位置に配置された作業ステージとを含む、表示用基板の検査装置。

IPC (2件)：

G01R 31/00 ,  G01R 31/02

FI (2件)：

G01R 31/00 ,  G01R 31/02

Fターム (7件)：

2G014AA00 ,  2G014AB21 ,  2G014AB59 ,  2G014AC07 ,  2G036AA27 ,  2G036BA33 ,  2G036CA12

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 液晶パネルの検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-333022   出願人：株式会社日本マイクロニクス
• 特開平4-020478
  
• 特開平4-020478
  
• 集塵機のフィルタ交換方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-309764   出願人：川崎製鉄株式会社, 三菱重工業株式会社