特許
J-GLOBAL ID：200903079818377690
圧電素子の製造方法及びそれにより製造された圧電素子
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-073414
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270771
出願日： 1997年03月26日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】 表面に凹部を有し、厚さが不均一な圧電材料を簡便に、均一に分極する。【解決手段】 表面に凹部を有し、厚さが不均一な圧電部材の該凹部に、圧電部材の誘電率と略等しい誘電率を有する充填剤を充填して厚さを均一にし、厚さ方向に垂直な対向する面に電極を形成して分極する工程を有する圧電素子の製造方法、及び、この方法にて製造された圧電素子。
請求項（抜粋）：
表面に凹部を有し、厚さが不均一な圧電部材の該凹部に、圧電部材の誘電率と略等しい誘電率を有する充填剤を充填して厚さを均一にし、厚さ方向に垂直な対向する面に電極を形成して分極する工程を有することを特徴とする圧電素子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 41/22 B
, H01L 41/18 101 D
