特許

J-GLOBAL ID：200903079818546638

金属膜支持体及びセラミックグリーンシート供給体並びに電子部品用セラミック積層体

発明者： 臼田 利克 ,  久保寺 紀之
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 宮▼崎▲ 主税 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-142316
公開番号（公開出願番号）：特開平6-349674
出願日： 1993年06月14日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】【目的】 内部電極とセラミック層との間におけるデラミネーションの発生を防止することができる金属膜支持体を得る。【構成】 PETフィルム2の支持体の上に、金属膜1を薄膜形成法により形成し、金属膜1にピンホール開口面積率が0.5〜70%となるように複数のピンホール1aを形成する。

請求項（抜粋）：

支持体と、前記支持体上に薄膜形成法により形成されており、かつピンホール開口面積率が0.5〜70%であるように複数のピンホールが形成された金属膜とを備えることを特徴とする、金属膜支持体。

IPC (4件)：

H01G 4/12 364 ,  C23C 14/20 ,  H01G 4/30 311 ,  H01G 1/015