特許

J-GLOBAL ID：200903079826919125

力学量センサ及び電子機器並びに力学量センサの製造方法

発明者： 岡 一成 ,  光末 竜太 ,  高橋 寛
出願人/特許権者： セイコーインスツル株式会社
代理人 (3件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-298376
公開番号（公開出願番号）：特開2007-107980
出願日： 2005年10月13日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：

【課題】 センサ室の内部の表面積を小さくして、アウトガスの影響を最小限とし、感度を向上させた力学量センサ及び電子機器並びに力学量センサの製造方法を提供する。【解決手段】 力学量センサ2は、一対のガラス基板20と、一対のガラス基板20の間に挟まれた状態で陽極接合により接合されたシリコン基板21とを備え、力学量を検出する検出部25がシリコン基板21で形成されている。さらに、力学量センサ2は、シリコン基板21で形成され、一対の前記ガラス基板20の間を気密に閉塞し、検出部25を収容するセンサ室26を形成するフレーム27と、センサ室26の外部にシリコン基板21で形成され、一対のガラス基板20に当接し、導電性を有する少なくとも一つのポスト28と、検出部25とポスト28とを電気的に接続する第一の配線38、金属膜37及び第二の配線39とを備える。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

一対のガラス基板と、一対の該ガラス基板の間に挟まれた状態で陽極接合により接合されたシリコン基板とを備え、力学量を検出する検出部が前記シリコン基板で形成された力学量センサであって、 前記シリコン基板で形成され、一対の前記ガラス基板の間を気密に閉塞し、前記検出部を収容するセンサ室を形成するフレームと、 前記センサ室の外部に前記シリコン基板で形成され、一対の前記ガラス基板に当接し、導電性を有する少なくとも一つのポストと、 前記検出部と前記ポストとを電気的に接続する接続手段とを備えることを特徴とする力学量センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04

Fターム (6件)：

2F105AA08 ,  2F105BB02 ,  2F105BB14 ,  2F105BB15 ,  2F105CD03 ,  2F105CD11

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 静電容量検出型センサおよびジャイロスコープならびに入力装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-010693   出願人：アルプス電気株式会社, 江刺正喜