ウエーハチヤツクおよびウエーハ搬送装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-213391
公開番号（公開出願番号）：特開平5-055342
出願日： 1991年08月26日
公開日（公表日）： 1993年03月05日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】簡単な構造により、処理ステージ上のウェーハを把持し、移動し、正確に処理ステージ上に載置することのできるウェーハチャックおよびウェーハ搬送装置を提供する。【構成】開閉動作でウェーハの外周縁を保持するクランプ爪2とウェーハ外周に接触してウェーハを載置する固定爪3とを並設し、ウェーハを反転した後クランプ爪2から固定爪3に持ち替えて次の処理ステージへ受け渡す。【効果】ウェーハを受け渡す際に、ウェーハを上方向に自由な固定爪で支持することで下降するウェーハチャックまたは上昇するウェーハステージの停止位置を高精度に必要がなく受渡しが容易である。

請求項（抜粋）：

処理ステージ上でウェーハを保持し、あるいは解放するためのウェーハチャックにおいて、前記ウェーハの面に並行な方向で開閉することにより該ウェーハ外周縁を挟み込み保持しあるいは解放する複数のクランプ片を有するクランプ爪と、前記クランプ爪に並設され該クランプ爪の解放に応じて前記ウェーハの外周の所定個所を載置保持可能とした複数の載置片を有する固定爪とを備えたことを特徴とするウェーハチャック。

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