特許
J-GLOBAL ID：200903079831041626
走査顕微応用装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-325807
公開番号（公開出願番号）：特開平10-154481
出願日： 1990年11月28日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：
【要約】【課題】試料表面の観察・計測装置や加工・処理装置の構造を格別大型化することなくして、これら装置にSEM装置を複合化してなる複合化装置(走査顕微応用装置)を提供すること。【解決手段】高真空試料室17内に置かれた試料3の観察・計測または加工・処理を行なう装置において、上記試料室17に試料3の表面を走査電子顕微法により観察するために試料3表面に細く集束された電子線を走査しながら照射することのできる小型構成の集束電子線照射手段1を付設し、かつ上記試料室17内を真空排気するための排気系と上記集束電子線照射手段1の内部空間を真空排気するための排気系とを共用する構成とした。【効果】種々の観察・計測装置または加工・処理装置の試料室に、集束電子線照射手段として小型構成のSEM鏡筒部を付設させ、かつ、双方の真空排気系を共用構成としたことにより、装置全体を格別に大型化することなく、これら装置にSEM装置を複合化してなる複合化装置(走査顕微応用装置)を提供できる。
請求項（抜粋）：
観察されるべき試料を収容する試料室内に、荷電粒子線源,前記荷電粒子線源からの荷電粒子線を前記試料の表面上に集束させるための対物レンズおよび前記荷電粒子線を前記試料の表面上で走査するための荷電粒子線偏向器を含んで構成される第1の走査顕微手段と、前記第1の走査顕微手段を前記試料に対し相対的に移動させるための移動手段と、前記試料の表面上をカンチレバーで保持された探針を用いて顕微観察するための第2の走査顕微手段とを合わせ備えてなることを特徴とする走査顕微応用装置。
IPC (4件)：
H01J 37/28
, G01N 23/225
, G01N 37/00
, H01J 37/12
H01J 37/28 B
, H01J 37/28 X
, G01N 23/225
, G01N 37/00 C
, G01N 37/00 F
, H01J 37/12
