特許
J-GLOBAL ID：200903079835583318
インクジェットヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-087528
公開番号（公開出願番号）：特開平6-297701
出願日： 1993年04月14日
公開日（公表日）： 1994年10月25日
要約：
【要約】【目的】 インクがスムーズに流れるような形状を形成し気泡排出性を改善し、インク吐出安定性のすぐれた、高密度で高信頼性のあるインクジェットヘッドを得る。【構成】 (110)シリコンウェハーを異方性エッチングで貫通させ、両面をノズル板2と圧力発生手段4を持った平板3によってそれぞれ挟み込み、隣合う(111)側面で形成される鋭角コーナ部になめらかな形状を成す樹脂壁8を設ける。
請求項（抜粋）：
インク流路の側面が(110)シリコンウェハーの(111)面で形成され、その隣合う側面で構成されるコーナー部に、樹脂を充填したことを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (3件)
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特開昭54-150127
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特開昭63-122551
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特開平4-185347
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