特許
J-GLOBAL ID:200903079840613900
液晶格子を用いた格子パタン投影装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-058375
公開番号(公開出願番号):特開2003-254733
出願日: 2002年03月05日
公開日(公表日): 2003年09月10日
要約:
【要約】【課題】 格子パタン投影法を用いた3次元形状測定において、測定時間を短縮すると共に、演算処理を簡略化して測定精度を向上させること。【解決手段】 正弦波、あるいは三角波の強度分布を有する位相がπ/2シフトした2相の格子パタンを物体に投影し、2相画像を検出する。2相画像の特定の強度範囲を設定して、基本強度分布がほぼ直線的な変化をする領域を選択する。さらに2相画像の選択された領域の1周期を4つの象限に分割し、各象限の位相幅をπ/2にする。各象限の強度振幅と画素数を検出して象限基準データとし、象限内の各画素の位相をその位置の強度、あるいは画素位置と象限基準データとの比例演算で算出する。
請求項(抜粋):
白色光を出射する光源部と、3次元形状が測定される物体に格子パタンを投影する液晶格子と、前記物体の凹凸に応じて変形した格子パタン画像を検出する画像検出部と、前記変形した格子パタン画像の強度分布を演算処理する画像演算部とを備えて、前記物体の3次元形状を測定する液晶格子を用いた格子パタン投影装置において、前記物体に投影する格子パタンは特定の強度分布を有する位相がπ/2シフトした2相パタンであって、前記画像検出部は前記2相パタンが変形した2相画像を検出し、前記画像演算部は、前記2相画像の特定の強度範囲を選択して画像の1周期を4個の象限に分割する象限設定部と、各象限の基準データとする強度振幅と画素数を検出する象限基準データ検出部と、各象限の強度分布を位相分布に変換する象限位相演算部と、個々の象限の位相分布を2相画像全体の位相分布に接続する位相分布接続部から構成され、接続された位相分布から前記物体の3次元形状を測定することを特徴とする液晶格子を用いた格子パタン投影装置。
IPC (2件):
G01B 11/25
, G02F 1/13 505
FI (2件):
G02F 1/13 505
, G01B 11/24 E
Fターム (22件):
2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065DD06
, 2F065FF04
, 2F065GG02
, 2F065GG24
, 2F065HH01
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL41
, 2F065LL53
, 2F065PP23
, 2F065QQ24
, 2F065QQ31
, 2H088EA12
, 2H088EA52
, 2H088EA61
, 2H088EA63
, 2H088HA15
, 2H088HA24
, 2H088HA28
, 2H088MA20
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