特許

J-GLOBAL ID：200903079841957009

感光性ドライフィルムレジスト

発明者： 高河原 薫 ,  岡田 好史
出願人/特許権者： 鐘淵化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-163470
公開番号（公開出願番号）：特開2002-258474
出願日： 2001年05月30日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：

【要約】【課題】カバーレイ作製工程を簡略化するために、感光性フィルム上に適度な密着性と剥離性を持つ保護フィルムを積層することにより、感光性ドライフィルムレジストの保管・作業性を良くする。【解決手段】ベースフィルム、ポリイミドを含む感光性フィルム及び保護フィルムをこの順に積層してなる三層構造シートからなる感光性ドライフィルムレジストにおいて、該保護フィルムが、ポリエチレンとエチレンビニルアルコール樹脂の共重合体フィルムと延伸ポリエチレンフィルムの貼り合わせ体フィルムからなり、かつ該共重合体フィルム面が上記感光性フィルムとの接合面を形成することにより、保護フィルムの剥離作業性が改良される。

請求項（抜粋）：

ベースフィルム、ポリイミドを含有する感光性フィルム、保護フィルムをこの順に積層してなる三層構造シートにおいて、該保護フィルムが、(a)ポリエチレンとエチレンビニルアルコール樹脂の共重合体フィルムと(b)ポリエチレンフィルムの積層フィルムからなり、かつ(a)の共重合体フィルム側が該感光性フィルムとの接合面を形成していることを特徴とする三層構造シートからなる感光性ドライフィルムレジスト。

IPC (11件)：

G03F 7/004 512 ,  C08F283/04 ,  C08G 73/10 ,  C08J 5/18 CFG ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/11 501 ,  G03F 7/16 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/28 ,  C08L 79:08

FI (11件)：

G03F 7/004 512 ,  C08F283/04 ,  C08G 73/10 ,  C08J 5/18 CFG ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/11 501 ,  G03F 7/16 ,  H05K 3/00 F ,  H05K 3/06 J ,  H05K 3/28 D ,  C08L 79:08 Z

Fターム (68件)：

2H025AA08 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AA16 ,  2H025AA17 ,  2H025AA20 ,  2H025AB11 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC82 ,  2H025BC83 ,  2H025CA00 ,  2H025CB25 ,  2H025CB41 ,  2H025DA02 ,  2H025EA08 ,  2H025FA17 ,  4F071AA60 ,  4F071AA77 ,  4F071BA02 ,  4F071BB02 ,  4F071BC01 ,  4J026AB24 ,  4J026BA30 ,  4J026BA50 ,  4J026DB36 ,  4J026FA09 ,  4J026GA07 ,  4J043PA04 ,  4J043QB31 ,  4J043RA37 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA141 ,  4J043UA151 ,  4J043UA161 ,  4J043UA171 ,  4J043UB061 ,  4J043UB121 ,  4J043UB131 ,  4J043UB141 ,  4J043UB151 ,  4J043UB161 ,  4J043UB291 ,  4J043UB301 ,  4J043UB351 ,  4J043YA06 ,  4J043YB02 ,  4J043YB19 ,  5E314AA36 ,  5E314CC15 ,  5E314FF06 ,  5E314GG26 ,  5E339AA02 ,  5E339AB02 ,  5E339AD00 ,  5E339BC02 ,  5E339BE11 ,  5E339CC01 ,  5E339CD01 ,  5E339CD10 ,  5E339CE11 ,  5E339CE16 ,  5E339CF01 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339DD02 ,  5E339GG10