特許

J-GLOBAL ID：200903079848519716

鉛直断面画像測定装置

発明者： 佐藤 学 ,  丹野 直弘
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-084636
公開番号（公開出願番号）：特開2001-272333
出願日： 2000年03月24日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：

【要約】【課題】 コリメータレンズを用いた空間遅延型フィゾー干渉計により、超小型干渉光学系が構成可能な超小型の鉛直断面画像測定装置を提供する。【解決手段】 低コヒーレンス面光源1と、コリメータレンズ2を有する照射光学系と、結像型干渉光学系と、ビーム分割型位相変調器5と、このビーム分割型位相変調器5に接続される高電圧信号発生器6と、対物レンズ7と、生体試料8と、ヘテロダイン画像検出器10と、振幅検出器11と、画像モニター12とを具備する。

請求項（抜粋）：

空間遅延型フィゾー干渉計を用いて超小型干渉光学系を構成することを特徴とする鉛直断面画像測定装置。

IPC (2件)：

G01N 21/17 630 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

G01N 21/17 630 ,  G01B 11/00 G

Fターム (38件)：

2F065AA04 ,  2F065AA52 ,  2F065CC16 ,  2F065DD02 ,  2F065FF42 ,  2F065FF51 ,  2F065GG01 ,  2F065GG18 ,  2F065HH03 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL12 ,  2F065LL28 ,  2F065LL46 ,  2F065LL57 ,  2F065MM16 ,  2F065NN08 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ33 ,  2F065SS13 ,  2G059AA05 ,  2G059BB12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK04 ,  2G059MM20

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特許第6359692号
  
• 液晶の配向方法および配向装置ならびに液晶表示素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-180885   出願人：シャープ株式会社, イギリス国
• 微小変位測定装置とその方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-216342   出願人：エヌオーケー株式会社
• 微小変位計測装置とその方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-191056   出願人：エヌオーケー株式会社