特許
J-GLOBAL ID:200903079850580775
光学式エンコーダ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-359546
公開番号(公開出願番号):特開2002-162258
出願日: 2000年11月27日
公開日(公表日): 2002年06月07日
要約:
【要約】【課題】光学式エンコーダにおいて、スケールの基準点又は絶対位置を精度良く検出できるようにすること。【解決手段】第3の光検出器24を、スケール18の基準点又は絶対位置を検出する第2の光検出器22に近接した領域に、且つ、第2の可干渉光源12から出射された光ビーム16の周辺部が入射するように形成する。そして、光ビーム強度制御手段により、該第3の光検出器24で検出した第2の可干渉光源12からの光ビームの強度に基づいて、その第3の光検出器24への入射強度が一定となるように、第2の可干渉光源12に印加する電圧もしくは電流値を制御する。
請求項(抜粋):
第1及び第2の可干渉光源と、前記第1及び第2の可干渉光源から出射された光ビームを横切るように移動し、且つ、前記光ビームを照射する所定周期の光学パターンを形成したスケールと、前記第1の可干渉光源から前記スケールの光学パターンを経由し回折干渉パターンを形成する光ビームを受光し、前記スケールの移動量を検出する複数の受光エリアを有する第1の光検出器と、前記第2の可干渉光源から前記スケールの光学パターンを経由し回折干渉パターンを形成する光ビームを受光し、前記スケールの基準点又は絶対位置を検出する第2の光検出器と、前記第2の光検出器に近接して配置され、前記第2の可干渉光源から前記スケールの光学パターンを経由した光ビームの強度を検出する第3の光検出器と、前記第3の光検出器で検出した光ビームの強度により、前記第2の可干渉光源から出射される光ビームの強度を制御する光ビーム強度制御手段と、を具備することを特徴とする光学式エンコーダ。
IPC (2件):
FI (3件):
G01D 5/38 A
, G01B 11/00 G
, G01B 11/00 C
Fターム (33件):
2F065AA02
, 2F065AA07
, 2F065AA09
, 2F065BB02
, 2F065BB15
, 2F065DD04
, 2F065EE03
, 2F065FF19
, 2F065FF48
, 2F065FF51
, 2F065GG06
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ15
, 2F065MM02
, 2F065NN02
, 2F065UU05
, 2F065UU07
, 2F103BA28
, 2F103CA01
, 2F103CA02
, 2F103CA04
, 2F103CA08
, 2F103DA04
, 2F103EA06
, 2F103EA15
, 2F103EB02
, 2F103EB08
, 2F103EB15
, 2F103EB16
, 2F103EB32
, 2F103EB33
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