特許
J-GLOBAL ID：200903079852354578
ウエハリング供給方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-256966
公開番号（公開出願番号）：特開平5-067670
出願日： 1991年09月09日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：
【要約】【目的】 確実にウェハリングを供給する。【構成】 カセット1に収納されたウェハリング2をボンディング装置に供給するにあたり、ウェハリング2の供給経路に、このウェハリング2の搬送方向と略直交する方向に開閉する1対の矯正レール11、12を設け、矯正レール11、12を、前記ウェハリング2が該矯正レール11、12間に搬入されるまでは開状態に保ち、搬入された後に閉状態となるように移動制御する。これによりカセット1から押し出されたウェハリング2は、開状態とされる矯正レール11、12間に搬入され、その後、閉状態となる両矯正レール11、12により、回転方向のずれが修正される。
請求項（抜粋）：
粘着テープを介してウェハを保持するウェハリングを、搬送レールに沿って搬送し、ペレットボンディング装置に設けられた前記ウェハリングの受台に供給するウェハリング供給方法において、前記ウェハリングの供給経路に、前記ウェハリングの搬送方向と略直交する方向に開閉する1対の矯正レールを設け、この矯正レールを、該矯正レール間に前記ウェハリングが搬入されるまでは開状態に保ち、搬入された後に閉状態となるように移動制御することを特徴とするウェハリング供給方法。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, H01L 21/52
, H01L 21/78
