特許
J-GLOBAL ID:200903079882845096
カラーフィルタ基板の製造方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
西 和哉
, 志賀 正武
, 青山 正和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-288493
公開番号(公開出願番号):特開2006-012762
出願日: 2004年09月30日
公開日(公表日): 2006年01月12日
要約:
【課題】 形成される電気光学層の膜厚均一性及び平坦性を向上させることが可能な電気光学装置の製造方法を提供する。【解決手段】 本発明の製造方法は、基板上に第1隔壁部112aと第2隔壁部112bとを形成する工程と、各隔壁部の各開口に対し電気光学層を構成する各機能材料を含む液状体を液滴吐出法にて吐出する工程とを含む。吐出する液状体は各電気光学層毎にそれぞれ異なる粘度を有する一方、隔壁部形成工程においては、相対的に低粘度の液状体を吐出する位置では、第1隔壁部112aのうち第2隔壁部112bから突き出した部分の表面積を相対的に小さくする一方、相対的に高粘度の液状体を吐出する位置では、第1隔壁部112aのうち第2隔壁部112bから突き出した部分の表面積を相対的に大きくすることを特徴とする。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
複数色の着色層を所定パターンで複数備えるカラーフィルタ基板の製造方法であって、
基板上に、前記着色層の形成領域を構成する第1開口部を備えた第1隔壁部と、該第1隔壁部上に位置し、同じく前記着色層の形成領域を構成する第2開口部を備えた第2隔壁部とを形成する隔壁部形成工程と、
前記各隔壁部の各開口部に対し、前記着色層を構成する各着色材料を溶媒に溶解ないし分散させた液状体を液滴吐出法にて吐出する吐出工程とを含み、
前記吐出する液状体は、各色の着色層毎にそれぞれ異なる粘度を有するものであって、
前記隔壁部形成工程においては、前記第1隔壁部を前記第2隔壁部の開口内面から突き出す形にて形成するものとしており、相対的に低粘度の液状体を吐出する開口部では、前記第1隔壁部のうち第2隔壁部から突き出した部分の表面積を相対的に小さくする一方、相対的に高粘度の液状体を吐出する開口部では、前記第1隔壁部のうち第2隔壁部から突き出した部分の表面積を相対的に大きくすることを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
IPC (4件):
H05B 33/10
, H05B 33/12
, H01L 51/50
, H05B 33/22
FI (4件):
H05B33/10
, H05B33/12 B
, H05B33/14 A
, H05B33/22 Z
Fターム (6件):
3K007AB11
, 3K007AB18
, 3K007BA06
, 3K007DB03
, 3K007EA00
, 3K007FA01
引用特許:
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