特許

J-GLOBAL ID：200903079883350716

超音波振動子とその製造方法

発明者： 沢田 之彦 ,  安達 日出夫 ,  藤村 毅直 ,  若林 勝裕
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-098744
公開番号（公開出願番号）：特開平6-291388
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：

【要約】【目的】 超音波振動子における各部材の形成に超微粉の噴射堆積という製法を用い、性能を向上させ、高分留まりによる大幅なコスト低減を図る。【構成】 下部共振体25上に超微粒子の噴射堆積により下部電極16を形成する。同様にして、下部電極16上に圧電体薄膜17,上部電極18および上部共振体22を順に形成する。

請求項（抜粋）：

圧電素子と、圧電素子を両側から挟む共振体とを構成部材として有する超音波振動子において、前記構成部材の内の少なくとも1つの部材が超微粒子の噴射堆積により形成されていることを特徴とする超音波振動子。

IPC (3件)：

H01L 41/24 ,  H01L 41/09 ,  H04R 17/10 330

FI (2件)：

H01L 41/22 Z ,  H01L 41/08 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭59-230399
  
• 特開平2-030752
  
• 特開平4-188503