特許

J-GLOBAL ID：200903079892183180

低真空走査電子顕微鏡

発明者： 中川 清一
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-136303
公開番号（公開出願番号）：特開平9-320504
出願日： 1996年05月30日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】 反射電子の検出効率に優れた高分解能の低真空走査電子顕微鏡を実現する。【解決手段】 反射電子検出器18をこの対物レンズ磁場のピーク位置に配置し、検出器18の内側に微小開口を有したオリフィス19を配置するようにしている。この結果、径の3乗に比例する差動排気比を最大とし、ライナーチューブ12内と試料室内とを所望の圧力差とすることができる。また、試料4から発生した反射電子が残留ガスに衝突して拡散しながら上昇するが、上昇にともなって対物レンズの磁場強度が増加するため、拡散領域が電子ビームの光軸方向に拘束され、対物レンズ主面(磁場のピーク位置)で拡散領域(径)が最小となるため、反射電子の検出効率が最大となる。

請求項（抜粋）：

電子ビームを試料室内の試料上に集束するためのインレンズタイプあるいはセミインレンズタイプの対物レンズと、試料上の電子ビームの照射位置を走査するための走査手段と、試料への電子ビームの照射によって得られた反射電子を検出する反射電子検出器とを備えた走査電子顕微鏡において、試料を対物レンズの磁場のピーク位置の下部に配置し、反射電子検出器を対物レンズの磁場のピーク位置に配置すると共に、反射電子検出器の内側に小さな電子ビーム通過孔を有したオリフィスを設け、オリフィス上部の電子ビーム通路とオリフィス下部の試料室内とを差動排気するように構成した低真空走査電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/141 ,  H01J 37/28

FI (3件)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/141 Z ,  H01J 37/28 Z