特許

J-GLOBAL ID：200903079901882445

ポリシリコンTFT方式LCD用石英ガラス基板

発明者： 八馬 進 ,  菊川 信也 ,  大田 幸則
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-327150
公開番号（公開出願番号）：特開平5-139776
出願日： 1991年11月15日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：

【要約】【目的】耐熱性、光学的特性に優れたポリシリコンTFT方式LCD用石英ガラス基板。【構成】アルミニウム含有量が5〜40ppm、ハロゲン含有量が10ppm以下、OH含有量が100ppm以下、重金属およびアルカリの含有量の総計が1ppm以下であって、徐冷点が1180°C以上であることを特徴とするポリシリコンTFT方式LCD用石英ガラス基板。

請求項（抜粋）：

アルミニウム含有量が5〜40ppm、ハロゲン含有量が10ppm以下、OH含有量が100ppm以下、重金属およびアルカリの含有量の総計が1ppm以下であって、徐冷点が1180°C以上であることを特徴とするポリシリコンTFT方式LCD用石英ガラス基板。

IPC (3件)：

C03C 3/06 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/136 500