特許

J-GLOBAL ID：200903079904738302

加速度センサ及びその製造方法

発明者： 八木 健 ,  米山 寿一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-317164
公開番号（公開出願番号）：特開2001-135829
出願日： 1999年11月08日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【課題】 製造が容易で、しかも、作用体を作用部に接合させる際のアライメントの精度を高くし、もって、クロストークを可及的に低減することができる加速度センサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 加速度センサ100は、固定部110に接合された作用体(重錘体)140に作用する加速度に応じた可撓部130の撓み量に応じた信号を出力する。作用体140が接合される作用部120の接合面120Aには、凹部122が形成されている。凹部122により作用体140と作用部120のアライメントの精度が向上する。又、作用体140と作用部120の接合面積を大きくして接合強度を増すことができる。

請求項（抜粋）：

固定部と、作用部と、該固定部と作用部を接続する可撓部と、前記作用部に接合された作用体とを有し、該作用体に作用する加速度に応じた前記可撓部の撓み量を表す信号を出力する加速度センサにおいて、前記作用体が接合された前記作用部側の接合面に凹部が形成されていることを特徴とする加速度センサ。

IPC (3件)：

H01L 29/84 ,  G01P 15/02 ,  G01P 15/12

FI (3件)：

H01L 29/84 B ,  G01P 15/02 A ,  G01P 15/12

Fターム (18件)：

4M112AA02 ,  4M112BA01 ,  4M112BA07 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA36 ,  4M112CA51 ,  4M112CA56 ,  4M112DA01 ,  4M112DA04 ,  4M112DA09 ,  4M112DA13 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA18 ,  4M112FA01 ,  4M112FA02 ,  4M112FA07