特許
J-GLOBAL ID：200903079907828019
狭帯域化レーザ発振装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-258988
公開番号（公開出願番号）：特開平5-102584
出願日： 1991年10月07日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】本発明は、レーザ励起体積を有効に利用し、レーザ光の取り出し効率を向上させることにより高出力化を図り、さらに空間コヒーレントを低減し、スペックルの発生を回避した狭帯域化レーザ発振装置を提供することを目的とする。【構成】本発明の狭帯域化レーザ発振装置は放電管をはさんで対向配置する回折格子および部分全反射鏡により構成された光共振器と、発振波長のスペクトルを狭帯域化するための波長選択素子とを有している。さらに、開口を有する凹面シリンドリカル鏡と部分全反射鏡とで構成される変倍アフォーカル光学系を設けてある。
請求項（抜粋）：
レーザ媒質をはさんで対向配置する全反射鏡あるいは回折格子および半透過鏡により構成された光共振器を含むレーザ発振手段と、このレーザ発振手段から発振されたレーザ光の発振波長のスペクトルを狭帯域化するための光学的分散素子とを有し、開口を有する凹面シリンドリカル鏡と大きさの限定された凸面シリンドリカル鏡とで構成される変倍アフォーカル光学系をレーザ媒質をはさむように光共振器内に配置したことを特徴とする狭帯域化レーザ発振装置。
IPC (2件)：
H01S 3/1055
, H01L 21/027
