特許
J-GLOBAL ID：200903079908736231
真空排気装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-024776
公開番号（公開出願番号）：特開平9-195976
出願日： 1996年01月18日
公開日（公表日）： 1997年07月29日
要約：
【要約】【課題】真空排気に於いて、排気時間を短縮しスループットを向上させ、又最終到達圧力を向上させ、処理室内に於ける残留ガス及びパーティクルを充分に排除して、クリーン度を向上させる。【解決手段】排気特性の異なるポンプ2,3を複数用い、到達真空度に応じて該ポンプを切換えて駆動し排気する様構成し、更に該ポンプの切換えは、ポンプ切換え用のエアバルブ5,6開閉のタイミングをオーバーラップさせる。
請求項（抜粋）：
排気特性の異なるポンプを複数用い、到達真空度に応じて該ポンプを切換えて駆動し排気する様構成したことを特徴とする真空排気装置。
IPC (4件)：
F04D 15/00
, F04B 37/16
, F04D 19/04
, H01L 21/02
F04D 15/00 D
, F04B 37/16 D
, F04D 19/04 Z
, H01L 21/02 Z
