特許
J-GLOBAL ID:200903079911699096
画像処理型測定機の照明装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
木下 實三 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-065997
公開番号(公開出願番号):特開2003-269919
出願日: 2002年03月11日
公開日(公表日): 2003年09月25日
要約:
【要約】【課題】 光の明るさや色調について安定した照明を実現できる画像処理型測定機の照明装置を提供する。【解決手段】 光源を含む照明光学系を有し、この照明光学系からの光を被測定物に照射し、これによって得られた被測定物の画像から被測定物の寸法や形状などを測定する画像処理型測定機の照明装置において、前記照明光学系で得られる明るさとそのときに前記光源に流す電流との関係を記憶したテーブル64,65と、テーブル64,65に記憶された明るさと電流との関係を基に、照明光学系で得られる明るさが予め設定した設定値になるように光源に流す電流を制御する制御手段(CPU51)とを備える。
請求項(抜粋):
光源を含む照明光学系を有し、この照明光学系からの光を被測定物に照射し、これによって得られた被測定物の画像から被測定物の寸法や形状などを測定する画像処理型測定機の照明装置において、前記照明光学系で得られる明るさとそのときに前記光源に流す電流との関係を記憶した記憶手段と、前記記憶手段に記憶された明るさと電流との関係を基に、照明光学系で得られる明るさが予め設定した設定値になるように前記光源に流す電流を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする画像処理型測定機の照明装置。
IPC (4件):
G01B 11/02
, G01B 11/24
, G02B 21/06
, H01L 33/00
FI (4件):
G01B 11/02 H
, G02B 21/06
, H01L 33/00 L
, G01B 11/24 K
Fターム (36件):
2F065AA01
, 2F065AA20
, 2F065AA21
, 2F065AA51
, 2F065BB05
, 2F065EE04
, 2F065FF04
, 2F065FF67
, 2F065GG07
, 2F065GG23
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL02
, 2F065LL12
, 2F065LL37
, 2F065NN02
, 2F065NN20
, 2F065PP02
, 2F065PP12
, 2F065PP23
, 2F065PP24
, 2F065QQ31
, 2F065RR06
, 2F065UU01
, 2H052AC04
, 2H052AC26
, 2H052AC28
, 2H052AC30
, 2H052AC33
, 5F041AA10
, 5F041AA41
, 5F041DA92
, 5F041EE12
, 5F041EE23
, 5F041FF11
引用特許:
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