特許
J-GLOBAL ID：200903079911706084
静電アクチュエータ、光スイッチング素子、画像表示装置およびそれらの制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-140093
公開番号（公開出願番号）：特開2000-330041
出願日： 1999年05月20日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】 製造における歩留りが高く、さらに、消費電力の低い光スイッチング素子を提供する。【解決手段】 スイッチング部30を駆動する静電アクチュエータ40において、スイッチング部30を駆動する中間電極53に駆動電圧Vsを印加し、上下の電極50および56は一定電圧に保持できるようにする。これにより、隣接する上電極56を連続でき、各上電極56を支持する支柱の数を削減できる。したがって、静電アクチュエータ40の設計上のフレキシビリティーが増加し、面積効率の高くできるので、歩留まりが高く消費電力の低い静電アクチュエータ40およびこれを用いた光スイッチング素子1、さらに画像表示装置2を供給できる。
請求項（抜粋）：
第1の位置、およびこの第1の位置から離れた第2の位置に移動可能なスイッチング部を駆動する静電アクチュエータであって、前記スイッチング部を弾性的に支持可能な弾性部材と、前記スイッチング部を電極間に働く静電力により前記第1および第2の位置に移動可能な静電駆動手段とを有し、この静電駆動手段は、スイッチング部を駆動可能な中間電極と、該中間電極により前記スイッチング部を前記第1の位置の方向に駆動させるように配置された上電極と、該中間電極を前記第2の位置の方向に駆動させるように配置された下電極とを備えており、さらに、前記上電極および下電極に対しそれぞれ一定のバイアス電圧を印加し、前記中間電極に駆動電圧を印加する制御手段を有する静電アクチュエータ。
Fターム (6件)：
2H041AA04
, 2H041AA16
, 2H041AB14
, 2H041AB40
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
