特許
J-GLOBAL ID：200903079913849435
グロー放電型イオン源
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-299239
公開番号（公開出願番号）：特開平6-124685
出願日： 1992年10月12日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：
【要約】【目的】 イオンの取出し効率が高く、安定なグロー放電が得られるイオン源を提供する。【構成】 ハウジング21は、スキマーコーン22,23によって、低真空室24,中真空室25,高真空室26に区分けされ、高真空室26内には、レンズ電極27及び質量分析部28が配置されている。低真空室24はロータリーポンプ29によって、中真空室25及び高真空室26はターボ分子ポンプ30,31によって真空排気される。低真空室内へ先端が挿入される試料導入管32,スキマーコーン22,23,導入管支持電極33は、絶縁体34によってハウジング21から及び相互に絶縁されると共に、Vg,Vs1 ,Vs2 ,Vs3 の各電圧が印加されている。試料導入管とスキマーコーン22の間の電圧によって、試料導入管32からスキマーコーン22へ向けて進行する試料液のジェット流がイオン化される。
請求項（抜粋）：
グロー放電に適した圧力に設定される低真空減圧室と、該低真空減圧室に隣接して設けられる高真空減圧室と、該低真空減圧室内に先端が配置されるノズルと、該ノズルに対向して配置され、該ノズルから低真空減圧室内へ噴出した液体試料を高真空減圧室内へ導く通過穴を有するコーンと、該コーン先端部と前記ノズル先端部との間にグロー放電を発生させる電圧を印加する電源とを備えたことを特徴とするグロー放電型イオン源。
IPC (4件)：
H01J 49/10
, H01J 27/02
, H01J 37/08
, H01J 49/04
