特許
J-GLOBAL ID：200903079913926405
配線評価装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-259735
公開番号（公開出願番号）：特開平7-115118
出願日： 1993年10月18日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：
【要約】【目的】 電流加速性を下げずにコンタクトチェーンのエレクトロマイグレーション評価を行う。【構成】 半導体基板6上において、配線となる導電体1と半導体基板6上に島状に形成された不純物拡散層5とを交互に、かつ、複数箇所接続し、さらに導電体の一端7に電流源を接続し、もう一方の導電体の一端8に電圧源を接続した。そして、電流源、または、電圧源を接続した導電体の近傍で半導体基板6に電圧源を接続した。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に、配線となる導電体と、前記半導体基板に島状に形成された不純物拡散層とが交互に、かつ複数箇所接続されており、前記導電体の一端に電流源が接続され、前記導電体の他端に電圧源が接続され、前記半導体基板に電圧源が接続されていることを特徴とする配線評価装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 31/26
, H01L 21/3205
