特許
J-GLOBAL ID：200903079914724644
感熱式流量検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-119960
公開番号（公開出願番号）：特開平8-313318
出願日： 1995年05月18日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：
【要約】【目的】 感熱式流量検出装置の起動時間を短縮するとともに、流量変動に対する応答性と計測精度を改善する。【構成】 流量検出素子の発熱部における温度依存性抵抗膜の表面積を基板面積の50%以上にするとともに発熱部抵抗をリード部抵抗の5倍以上とし、接続部のボンディングワイヤを保持部材内部に埋設して、流量検出素子の保持部材以外の部分を流路中に配設した。
請求項（抜粋）：
絶縁性基板上に温度依存性抵抗膜を形成し、この絶縁性基板の支持部から離れた位置にミアンダ形状に形成した発熱部を設けるとともに外部との接続のための電極部と、前記発熱部と前記電極部の間を接続する膜状のリード部とをもつ発熱体と、この発熱体を支持しかつ前記電極部を介して電気的に外部と接続する導電部をもつ保持部材とからなる流量検出素子を有する感熱式検出装置において、前記発熱部の抵抗を前記リード部の抵抗の5倍以上とし、かつ前記発熱体の端部を前記リード部の一部、前記電極部および前記電極部を介して電気的に外部と接続する導電部をともに被測定流体と隔離する断熱性の前記保持部材内部に埋設した前記流量検出素子を用い、前記発熱体の保持部材埋設部以外を前記被測定流体の流路中に配設したことを特徴とする感熱式流量検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (1件)
-
熱式空気流量計
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-109514
出願人：株式会社日立製作所, 日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
審査官引用 (1件)
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熱式空気流量計
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-109514
出願人：株式会社日立製作所, 日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
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