特許
J-GLOBAL ID：200903079916081066

光学式走査装置及び欠陥検出装置

発明者：
木村 一彦

木村 一彦 について

, 
楠瀬 治彦

楠瀬 治彦 について


出願人/特許権者：
レーザーテック株式会社

レーザーテック株式会社 について


代理人 (1件)： 杉村 興作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-187665
公開番号（公開出願番号）：特開2003-004654
出願日： 2001年06月21日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 欠陥の存在だけでなく試料表面の凹凸形状をに検出できる光分解能の光学式走査装置を実現する。【解決手段】 光源1から試料4に向かう光ビームと試料から光検出器6に向かう反射ビームとを分離するビームスプリッタ2と、試料と光スポットとを相対的に移動させる手段とを具え、試料表面を光スポットにより走査し、試料表面からの反射光により試料の表面領域の情報を検出する光学式走査装置において、ビームスプリッタと光検出器との間の光路中に遮光板を配置し、試料表面における光スポットの走査方向と対応する方向の片側半分の光路を遮光する。遮光板を光路中に配置することにより、試料表面に欠陥の要因となる微小な傾斜面存在する場合、反射の法則により光スポットからの反射光は光軸から変位するので、遮光板により遮光される光量が変化する。この結果、光検出器からの出力信号により凸状欠陥及び凹状欠陥を判別することができる。
請求項（抜粋）：
試料を支持する試料ステージと、光ビームを発生する光源と、前記光ビームを集束して試料表面に光スポットを形成する対物レンズと、試料表面からの反射光を受光する光検出器と、前記光源と対物レンズとの間の光路中に配置され、光源から試料に向かう光ビームと試料から光検出器に向かう反射ビームとを分離するビームスプリッタと、前記試料と光スポットとを相対的に移動させる手段とを具え、試料表面を光スポットにより走査し、試料表面からの反射光により試料の表面領域の情報を検出する光学式走査装置において、前記ビームスプリッタと光検出器との間の光路中に遮光板を配置し、この遮光板により、試料表面における光スポットの走査方向と対応する方向の片側半分の光路を遮光することを特徴とする光学式走査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/24
FI (4件)：
G01N 21/956 A ,  G01B 11/30 A ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/24
Fターム (36件)：
2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065FF44 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL00 ,  2F065LL13 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL42 ,  2F065LL62 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ25 ,  2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051BB15 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2H052AA08 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC18 ,  2H052AC28 ,  2H052AC34 ,  2H052AD18 ,  2H052AD31 ,  2H052AF06
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM