特許
J-GLOBAL ID：200903079921424850
走査型プローブ顕微鏡及びこれを用いた観察方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡 憲吾 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-051500
公開番号（公開出願番号）：特開2003-247931
出願日： 2002年02月27日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：
【要約】【課題】 様々な応力状態にある試料7の観察が様々な温度下において可能な走査型プローブ顕微鏡の提供。【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡の試料台3は、基台13と、可動ブロック15と、回転ボルト17と、第一押さえ板19と、第二押さえ板21と、固定ボルト23とを備えている。基台13は、起立部25と凹陥部29とを備えてる。試料7の一端は第一押さえ板19と起立部25とによって挟持されており、他端は第二押さえ板21と可動ブロック15とによって挟持されている。試料7の裏側面には、熱伝導体4が接している。試料台3の周りには、電熱帯2が配されている。回転ボルト17の回転によって可動ブロック15がスライドし、試料7が伸張する。電熱帯2からの熱は熱伝導体4を介して試料7に伝達し、試料7が加熱される。この状態で、プローブにより試料7の表面状態が観察される。
請求項（抜粋）：
カンチレバー及び探針を有するプローブと、試料台とを備えており、探針が試料台にセットされた試料に対して相対的に移動することにより試料の表面状態が観察される走査型プローブ顕微鏡であって、試料の加熱又は冷却が可能なように構成され、かつ試料に歪みを与えうるように構成されていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 13/16 A
, G01B 21/30
2F069AA60
, 2F069HH30
, 2F069MM23
, 2F069RR09
