特許
J-GLOBAL ID：200903079923676881
光学式位置センサ
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-071328
公開番号（公開出願番号）：特開平6-281413
出願日： 1993年03月30日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：
【要約】【目的】光源部として発光素子アレイを用いず、受光部として受光素子アレイを用いないで、結線の簡素化とコスト低減および省電力を図る。【構成】出射光学系Aにおける光源部1は数個の発光素子12を内蔵しただけのものである。光源部1に接合した導光部2は底面に湾曲フレネルミラー5aを形成し検出領域Cに向けて平行光束を出射する。検出領域Cの長手方向に沿って光強度分布を連続的もしくは段階的に変化させる厚み(透過率)が次第に変化する可変透過率フィルター30(光強度調節素子)を導光部2の出射面2aに接合してある。入射光学系Bにおける光散乱部3は透光性樹脂に散乱剤を混入し検出物体mからの反射光を一様に散乱させて受光部4に導くものである。受光部4は検出領域長手方向位置の識別性(位置検出機能)をもたない単一の受光素子でよい。
請求項（抜粋）：
光源部およびこの光源部からの出射光を長手方向に沿って導入し反射により検出領域に向け平行光束として導出する導光部からなる出射光学系と、検出物体からの反射光を入射して散乱させる光散乱部およびこの光散乱部に接合された受光部からなる入射光学系とを備え、前記出射光学系または入射光学系において検出領域の長手方向に沿って光強度分布を連続的もしくは段階的に変化させる光強度調節素子を設けてあることを特徴とする光学式位置センサ。
IPC (3件)：
G01B 11/00
, G01C 3/06
, H01L 31/16
