成膜装置および成膜方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：開口宗昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-313997
公開番号（公開出願番号）：特開平11-150085
出願日： 1997年11月14日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】【課題】積層膜から成るバリアメタル膜の成膜で、異なる成膜領域で各膜の形成を可能とすることにより、生産性の向上を図るとともに製造歩留まりの低下を防ぐ成膜装置を得る。【解決手段】スパッタ装置において、基板3が載置されるステージ5に対して、その周囲を囲む筒状側壁4を設け、筒状側壁と基板との相対位置を変化させることで、複数の膜を成膜する場合において、基板端における成膜のための粒子の入射領域を制御し、成膜領域がそれぞれ異なる膜から成る積層膜の形成を同一構造の成膜装置内で行うことを可能とする。この装置をブランケットW成長用のバリアメタル膜としてのチタン及び窒化チタン積層膜の成膜に使用することで、基板端においてチタン膜が窒化チタン膜に覆われるように成膜でき、W成長時の膜剥がれの発生を防止する。

請求項（抜粋）：

基板表面に成膜を行う成膜装置において、前記基板を載置するステージと、前記ステージ周囲を囲む筒状側壁と、前記筒状側壁の軸方向における前記ステージと筒状側壁との相対位置を可変とする駆動手段と、を具備することを特徴とする成膜装置。

IPC (4件)：

H01L 21/285 , C23C 14/34 , H01L 21/203 , H01L 21/768

FI (4件)：

H01L 21/285 S , C23C 14/34 J , H01L 21/203 S , H01L 21/90 C

引用特許：

審査官引用 (1件)

プラズマ生成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-277899 出願人：住友金属工業株式会社

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