液状体の吐出塗布方法と吐出塗布装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-225195
公開番号（公開出願番号）：特開2002-361151
出願日： 2001年06月10日
公開日（公表日）： 2002年12月17日
要約：

【要約】【目的】アクティブマトリックス型液晶表示装置を構成するカラーフィルター基板や薄膜トランジスタ基板を製造する時に用いるホトレジストの塗布装置に関して、装置コストが安く、メンテナンスがしやすい簡単な装置構成で、使用するホトレジストの量を最少におさえランニングコストを大幅に改善する。【構成】弁機構を有する平板スリット吐出ノズルと、基板とが相対的に移動するように構成された液状体の吐出塗布装置を用いて、平板スリット吐出ノズルから液状体を基板表面に吐出塗布する方法において、平板スリット吐出ノズルの弁機構をパルス状に開閉作動させて液状体を基板表面に連続した帯状に吐出塗布し、実質的に面状に塗布することを特徴とする、液状体の吐出塗布方法。

請求項（抜粋）：

弁機構を有する吐出機構と、基板とが相対的に移動するように構成された液状体の吐出塗布装置を用いて、前記吐出機構のノズルから液状体を基板表面に吐出塗布する方法において、吐出機構の弁機構をパルス状に開閉作動させて液状体を基板表面に連続した帯状に吐出塗布し、実質的に面状に塗布することを特徴とする液状体の吐出塗布方法ならびに吐出塗布装置。

IPC (18件)：

B05C 5/02 , B05C 1/02 102 , B05C 9/14 , B05C 11/10 , B05D 1/26 , B05D 1/28 , B05D 3/00 , B05D 7/00 , B05D 7/02 , B05D 7/24 301 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1339 500 , G02F 1/1339 505 , G02F 1/1341 , H01J 9/02 , H01J 9/20 , H01J 9/227 , H01J 11/02

FI (20件)：

B05C 5/02 , B05C 1/02 102 , B05C 9/14 , B05C 11/10 , B05D 1/26 Z , B05D 1/28 , B05D 3/00 D , B05D 7/00 H , B05D 7/00 N , B05D 7/02 , B05D 7/24 301 T , G02F 1/13 101 , G02F 1/1339 500 , G02F 1/1339 505 , G02F 1/1341 , H01J 9/02 F , H01J 9/20 A , H01J 9/227 E , H01J 11/02 B , H01J 11/02 Z

Fターム (116件)：

2H088FA02 , 2H088FA03 , 2H088FA04 , 2H088FA28 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088HA08 , 2H088HA12 , 2H088MA20 , 2H089LA09 , 2H089MA03X , 2H089MA03Y , 2H089MA03Z , 2H089NA05 , 2H089NA12 , 2H089NA25 , 2H089NA33 , 2H089NA42 , 2H089NA44 , 2H089NA55 , 2H089NA60 , 2H089QA12 , 2H089QA13 , 2H089TA01 , 2H089TA09 , 2H089TA12 , 4D075AC02 , 4D075AC04 , 4D075AC07 , 4D075AC08 , 4D075AC09 , 4D075AC15 , 4D075AC16 , 4D075AC21 , 4D075AC29 , 4D075AC88 , 4D075AC92 , 4D075AC93 , 4D075BB18Z , 4D075BB22X , 4D075BB32X , 4D075BB35X , 4D075BB36X , 4D075BB46Z , 4D075BB56Z , 4D075DA06 , 4D075DA31 , 4D075DA34 , 4D075DA36 , 4D075DB13 , 4D075DB14 , 4D075DB31 , 4D075DB35 , 4D075DC18 , 4D075DC22 , 4D075DC24 , 4D075EA01 , 4D075EA05 , 4D075EA14 , 4D075EA19 , 4D075EA21 , 4D075EA45 , 4D075EB07 , 4F040AA02 , 4F040AA05 , 4F040AA12 , 4F040AA31 , 4F040AA33 , 4F040AB04 , 4F040AB06 , 4F040AC01 , 4F040BA12 , 4F040BA16 , 4F040BA35 , 4F040BA36 , 4F040CB03 , 4F040CB06 , 4F040CB23 , 4F040DA12 , 4F040DB16 , 4F041AA05 , 4F041AA06 , 4F041AB01 , 4F041BA11 , 4F041BA13 , 4F041BA15 , 4F041BA17 , 4F041BA36 , 4F041BA48 , 4F041CA02 , 4F041CA11 , 4F041CA17 , 4F042AA01 , 4F042AA03 , 4F042AA06 , 4F042AA07 , 4F042AA08 , 4F042AB00 , 4F042BA12 , 4F042CB03 , 4F042CB08 , 4F042CB11 , 4F042DB17 , 4F042DB21 , 4F042DB41 , 4F042DD09 , 4F042DF15 , 4F042ED05 , 5C027AA09 , 5C028AA10 , 5C028FF01 , 5C040GF19 , 5C040GG09 , 5C040GH03 , 5C040JA31 , 5C040MA23

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