特許

J-GLOBAL ID：200903079941872922

位置検出装置及びブレ補正装置

発明者： 小野 佳子
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-109107
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300419
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】 光の位置を検出するときに、位置検出の誤差を小さくすることができる位置検出装置及びブレ補正装置を提供する。【解決手段】 x軸方向に移動する移動部材22には、スリット部62cを形成したスリット板62が取り付けられている。スリット部62cには、ナイフエッジ状のエッジ部62bが形成されている。エッジ部62bは、スリット部62cのLED51側の縁部を削り取るように、その断面形状が三角形に形成されている。LED51から投光された光は、LED51側の縁部により遮られ(けられ)ることなくスリット孔62aにより絞られて、PSD54の受光面54aにより検出される。このために、スリット板62に厚みがあっても、位置検出の誤差δxを小さくすることができるとともに、PSD54の受光面54aとスリット孔62aとを近づけることによって、誤差δxを小さくすることができる。

請求項（抜粋）：

光を投光する発光部と、前記発光部からの光を受光し、この光の位置を検出する光位置検出部と、前記発光部と前記光位置検出部との間に配置され、前記発光部からの光の少なくとも一部が通過する光通過部を備える遮光部材と、を含む位置検出装置において、前記光通過部は、前記遮光部材の厚みに係わらず、前記光位置検出部に一定面積又は略一定面積の光スポットを形成する光スポット形成部を備えること、を特徴とする位置検出装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01D 5/34 ,  G03B 5/00

FI (3件)：

G01B 11/00 E ,  G03B 5/00 G ,  G01D 5/34 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-109103
  
• 特開昭59-210304
  
• 像振れ補正装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-262582   出願人：株式会社ニコン