特許

J-GLOBAL ID：200903079943833738

磁気軸受装置

発明者： 篠崎 弘行 ,  佐藤 元保 ,  石原 誠一 ,  中沢 敏治 ,  飯島 直樹
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-192497
公開番号（公開出願番号）：特開平5-118329
出願日： 1991年07月05日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：

【要約】【目的】 制御用電磁石の作用点で被支持体の位置検出を可能ならしめ、かつ位置検出用コイルを不用とし、磁気浮上された被支持体の移動量を簡単な構造で検出できる磁気軸受装置を提供することにある。【構成】 被支持体の移動量を検出する装置を備え、磁気力により非接触に支持する磁気軸受装置において、パルス幅変調(PWM)型の軸受電源を有し、そのスイッチングリップル電流を測定し、被支持体の移動量情報を得ることを特徴とする磁気軸受装置。

請求項（抜粋）：

被支持体の移動量を検出する装置を備え、磁気力により非接触に支持する磁気軸受装置において、パルス幅変調(PWM)型の軸受電源を有し、そのスイッチングリップル電流を測定し、被支持体の移動量情報を検出する手段を具備することを特徴とする磁気軸受装置。